プログラマブル インテリジェントタイプエンコーダ
超高分解能 L=5nm、R=64M CPR　　　　　　　
超高分解能 L=20nm、R=16M CPR
高分解能 L=78nm、R=4M CPR
※3500,3000にはSi(高速シリアル出力)タイプが用意されています。
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　固定逓倍タイプエンコーダ
4倍, 8倍, 20倍及び40倍の4種類の逓倍分割より選択
逓倍器をヘッドに内蔵
200倍(0.10μm)400倍(0.05μm)の逓倍分割
2種類から選択　逓倍器をヘッドに内蔵
4倍、8倍、20倍及び40倍の4種類の逓倍分割より選択
基板搭載タイプ
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　アナログ信号出力タイプエンコーダ
インテリジェントアンプ、電気ポテンショメータを内蔵
ケーブル・コネクタを省いた基盤実装型
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　真空環境対応タイプエンコーダ
10-8torrの真空環境に対応(AB2相信号出力タイプ)
10-8torrの真空環境に対応(アナログ信号出力タイプ)
10-8torrの真空環境に対応(デジタル信号出力タイプ)
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　マーキュリー3000Si2軸仕様アベレージャー
高精度ロータリーシステムに最適。高精度かつ高速回転が可能
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