レーザトリミングについて

レーザトリミングは抵抗の精度向上のため、レーザで薄膜・厚膜の抵抗体に切れ込みを入れることで抵抗値を調整しています。

１．用語

まず、よく使用される用語について説明します。

ＩＲレーザ： トリミングでは一般的にＹＡＧレーザ（1064nm）を指します。
ＮＤ：ＹＡＧはネオジウム・イオンの混じったイットリウム・アルミニュウムのガーネット結晶です。ランプ励起（水冷）レーザとダイオード励起（空冷）レーザ（ＤＰＬ）があります。
近年はダイオードの信頼性、性能の向上によりＤＰＬが主流になっています。
Ｇｒｅｅｎレーザ： ＹＡＧの２倍波。波長変換用のクリスタルで１０６４ｎｍの半分の波長５３２ｎｍにしたもの。スポットサイズが小さくできます。
ＵＶレーザ： ＹＡＧの３倍波。波長変換用のクリスタルで１０６４ｎｍの半分の波長３５５ｎｍにしたもの。Ｇｒｅｅｎレーザより、さらにスポットサイズを小さくできますが、価格的には不利になります。アプリケーション、材質によっては切り口がＧｒｅｅｎレーザと変わらないもしくは不利な場合もありますので、事前検証が必要です。
Ｑスイッチ：
Ｑスイッチングは、レーザを連続的に"ＯＮ−ＯＦＦ"することにより、高いピークパワーを作ります。この周波数をＱレートといいます。
スポットサイズ：
スポットサイズはレザービームの焦点での直径です。
カーフ幅とは異なります。		 　
バイトサイズ：
レーザ・パルス間の間隔です。
カーフ「切り口」：
レーザによるカットはカーフと呼ばれる溝を作り出します。
スポットサイズとトリミングされる材料により、カーフ幅が決まります。トリミング後に正確で安定した抵抗値を得るにはまっすぐでクリーンな切り口が必要です。		 　

２．代表的なカットの種類

３．０６０３厚膜チップへのグリーンレーザによるサンプル